Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling) - Inria - Institut national de recherche en sciences et technologies du numérique Access content directly
Reports (Research Report) Year : 1984

Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling)

Americo Marrocco
  • Function : Author
  • PersonId : 833554

Abstract

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Dates and versions

inria-00076252 , version 1 (24-05-2006)

Identifiers

  • HAL Id : inria-00076252 , version 1

Cite

Americo Marrocco. Simulations numeriques dans la fabrication des circuits a semiconducteurs (Process modelling). [Rapport de recherche] RR-0305, INRIA. 1984. ⟨inria-00076252⟩
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