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Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Comparison of RF and microwave (HF) flowing discharges in the production of active species in N2 and Ar-N2

André Ricard
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1075726
  • IdRef : 050545329
S.G. Oh
  • Fonction : Auteur
Y. K. Kim
  • Fonction : Auteur

Domaines

Plasmas
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03971326 , version 1 (03-02-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03971326 , version 1

Citer

André Ricard, Jean-Philippe Sarrette, S.G. Oh, Y. K. Kim. Comparison of RF and microwave (HF) flowing discharges in the production of active species in N2 and Ar-N2. The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015), Sept. 20-24, 2015, Jeju Island (REPUBLIC OF KOREA), 2015, Jeju Island, South Korea. ⟨hal-03971326⟩
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