Determination of velocity distribution function of sputtered copper atoms by time resolved optical absorption spectroscopy - Inria - Institut national de recherche en sciences et technologies du numérique Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Determination of velocity distribution function of sputtered copper atoms by time resolved optical absorption spectroscopy

N. Kang
  • Fonction : Auteur
S.G. Oh
  • Fonction : Auteur
André Ricard
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1075726
  • IdRef : 050545329
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03954175 , version 1 (24-01-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03954175 , version 1

Citer

N. Kang, S.G. Oh, Freddy Gaboriau, André Ricard. Determination of velocity distribution function of sputtered copper atoms by time resolved optical absorption spectroscopy. International Conference on Microelectronics and Plasma (ICMAP 2008), Aug. 18-20, 2008, jeju (SOUTH KOREA), 2008, jeju, South Korea. ⟨hal-03954175⟩
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