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Article Dans Une Revue Plasma Chemistry and Plasma Processing Année : 2016

Comparison of the Active Species in the RF and Microwave Flowing Discharges of N-2 and Ar-20 %N-2

André Ricard
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1075726
  • IdRef : 050545329
S.G. Oh
  • Fonction : Auteur
Y. K. Kim
  • Fonction : Auteur
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Dates et versions

hal-03828151 , version 1 (25-10-2022)

Identifiants

Citer

André Ricard, Jean-Philippe Sarrette, S.G. Oh, Y. K. Kim. Comparison of the Active Species in the RF and Microwave Flowing Discharges of N-2 and Ar-20 %N-2. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 2016, 36 (6), pp.1559-1570. ⟨10.1007/s11090-016-9739-9⟩. ⟨hal-03828151⟩
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